半導體界的化妝水

矽氮類產品,

--BDEAS

長得像是螃蟹的結構

這麼有用的呀!

低沉積溫度：BDEAS 可在相對較低的溫度 (100-​300°C) 下進行 ALD 製程，這對溫度敏感的基板非​常有利.

適當的反應性：BDEAS 與臭氧和氧等常見氧化劑反​應良好，可形成 SiO2 薄膜.

良好的薄膜品質：而且可以生產出高品質、均勻的薄​膜，厚度控制也可以很精準,

並且也可以幫助 Hf (蝦) 的薄膜層積上去, 增加高介​電的薄膜效果